Comment saisir les données mesurées par l'interféromètre dans OpticStudio

Dans ce cas, nous utilisons les données de l'interféromètre ZYGO comme exemple. Le fichier de données généré par l'interféromètre ZYGO pour l'entreprise est au format ZXGRD. OpticStudio convertit le fichier au format DAT.
Nous utilisons les données de l'interféromètre ZYGO comme exemple. Ce fichier de données est généré au format ZXGRD. OpticStudio convertit le fichier au format DAT et l'enregistre dans le répertoire racine de Zemax « DocumentZemax/ObjectsGrid Files ».
La capture d'écran au début du fichier de données montre que le format de données est le même que le format de données Grid Sag mentionné dans l'article de la semaine dernière. Le nombre de points de données dans la direction XY est de 732, et comme la distance entre les points de données est de 0,01344, le diamètre du fichier de données est de 9,72 mm. Où la première ligne du fichier a un indicateur terminal (drapeau) de 0, représentant l'unité de données de mm.

Il convient de noter que si les données mesurées sont stockées sous forme de données de front d'onde, nous devons traiter ce fichier de données comme des données de phase. L'affaissement de la grille d'OpticStudio est en radians. Par conséquent, les données de mesure doivent être converties et la formule de conversion est la suivante :
Unité Zemax (radian) = unité de mesure ZYGO (mm) x 2
Dans le fichier de données fourni par cet exemple, la longueur d'onde mesurée est de 632,8 nm, alors :
Unité Zemax (radians) = unité de mesure ZYGO (mm) x 2 PI / 0,0006328 = 9924 x (unité de mesure ZYGO)

Dans l'éditeur d'objectifs d'ouverture (STO), le type de surface de phase est défini sur une grille et les propriétés de la surface sont définies dans l'onglet d'importation du fichier de données précédemment enregistré, dans ce cas pour le test. Le fichier DAT est illustré ci-dessous.
Pendant ce temps, l'ordre de diffraction de la phase de la grille est entré avec la valeur de conversion d'unité calculée ci-dessus :
Cliquez sur OK pour voir les résultats de l'interférogramme suivants, qui sont cohérents avec les données de l'interféromètre.